UV/EB関連情報12月度’03
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日本化薬は、中国無錫市にプリント配線板用レジスト材料の新工場を完成した。設備能力は、年約1700トン。
(化工日12/3)
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クレステックは、半導体ウェハーのフィールドをつなぐ際に発生する図形のズレを、50ミリメートル角の広領域でま10ナノメートルレベルに抑えた高分解能電子線描画装置を開発した。
(日刊工業12/3)
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太陽インキ製造の中国生産拠点、太陽油墨有限公司のレジストインキ新工場が本格稼動を始めた。現在の月50トンから、来春には月120トン稼動を目標としている。
(化工日12/5)
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神奈川県産業技術総合研究所は、日本製鋼所と共同で、超微細金型の作製過程において、感光性樹脂を容易に除去する技術を開発した。樹脂を除去する時間を、従来の100分の1に短縮できる。
(日刊工業12/8)
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チバ・スペシャルティ・ケミカルズは、相溶性や反応性、低臭気性などを一段と向上させた新製品2種、UVインキやレジストを狙った「IRGACURE 379]とUVクリヤコートやオーバープリントワニスをターゲットとした「CGI 827]を市場投入する。
(化工日12/8)
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コグニスジャパンは、1メーカーでコーティング剤とその添加剤の製剤が行えるメリットを押し出して、UV硬化型コーティング剤と添加剤をセット販売する。ウレタンアクリレートの「フォトマー6000」シリーズや消泡剤・レベリング剤の「ペレノール」シリーズなどを組み合わせる。
(化工日12/11)
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UV/EB硬化技術に関する国際会議「ラドテックアジア2003」が横浜国際会議場(パシフィコ横浜)で開幕した。
(化工日12/11)
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東亜合成は、大日本インキ化学工業と共同で東亜合成のアクリル系UV硬化型モノマー・オリゴマーを生産するための合弁企業「張家港東亜油愛生化学有限公司」を中国に設立する。2005年1月生産開始の予定。年産1万トン能力のプラントを建設する。
(化工日12/19)
UV/EB関連情報11月度’03)
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宇部興産は、ファインケミカル事業拡大の一環として、PCD(ポリカーボネートジオール)とオキセタンを本格販売する。
(化工日11/4)
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丸善石油化学は、次世代ArF対応製品として線幅90〜65ナノメートルをターゲットにノルボルネン系、アダマンチル系など複数のポリマーを開発、サンプル供給中。
(化工日11/4)
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新中村化学は、UV硬化型水分散ポリマーを開発、サンプル出荷中。3種類あり、スタンダードのNKポリマーRP-116、柔らかい同116ES、硬い同116EHの3タイプを用意している。
(化工日11/5)
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インテルは、2009年にも採用が予定されている線幅32ナノメートルの超微細プロセスを実現するためのEUVリソグラフィー向けフォトマスク(直径150ミリメートル)を試作した。
(化工日11/10)
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日本化薬、米マイクロケム、トーメンが設立したマイクロマシン製造用フォトレジスト合弁、化薬マイクロケムは、今春から販売開始した超厚膜化学増幅型UVネガ型レジストに続く、厚膜レジストの新製品3種類を開発、販売する
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(化工日11/11)
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ラドテック・アジア国際会議2003(12/9〜12/12 於:横浜パシフィコアネックスホール)開催に関連して、組織委員長西久保神奈川大学工学部長へのインタビュー記事。
(化工日11/11)
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東京応化工業は、LCDのカラーフィルターに使う黒色着色レジストの生産能力を現在の10倍に引き上げる。04年2月をめどに投資額は2〜3億円で、場所は宇都宮工場。
(日刊工業11/17)
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NECとトクヤマは、線幅8ナノメートル/回線精度(ラフネス)1ナノメートル以下という超微細半導体プロセスを可能にするEB(電子線直接描画)対応ネガ型レジスト「クロロメチル化カリックス4アレーンレジスト」を開発、トクヤマから発売した。
(化工日11/25)
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日本記録メディア工業会は、記録メディア製品の2004年世界需要・生産予測を発表した。記録型DVDは、2003年推定実績で4億2300万枚(前年比331%増)と増加したが、2004年も9億5500万枚(同124%増)と引き続き高成長し、10億枚に迫る。
(化工日11/27)
UV/EB関連情報10月度’03)
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ミマキエンジニアリングは、専用のUVインキを使った産業用インクジェットプリンタを製品化した。フラットベッドの「UJV-110」とロール紙出力の「UJF-605C」の2機種で小型化したUV照射機構を内臓。
(化工日10/1)
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大日本インキ化学工業は、光重合開始剤の変更などで低臭気化を実現、乳化適性改良により印刷性も一段と向上させたUVインキの新タイプを製品化。「ダイキュアシリーズ」に加えて市場展開を開始した。
(化工日10/1)
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日本電池は、UVインキやUV塗料、UV接着剤など向けのUV照射システム「GS UVシステム」の拡販に注力する。
(化工日10/1)
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韓国サムスン電子は、すでに1450億円投じた液晶パネルの最新鋭ラインに453億円を追加投資、生産能力を拡大する。同社の第五世代(1.1メートル×1.3メートル)液晶パネルの生産能力は、04年夏には世界最大級の月間20万枚に達する。
(日経産業10/1)
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東洋インキ製造は、光重合開始剤フリータイプのEBインキ「FD EB SHCシリーズ」を開発するとともに、同インキを用いた高機能印刷システム「Min-EB web33」を世界で初めて実用化した。
(化工日10/2)
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京セラケミカルは、半導体ウエハー保護や各種耐熱コーティング向けに新規な感光性樹脂を開発した。同社が開発した非ポリイミド系膜は、ウエハーにコーティングしても反りを大幅に低減できるなどの特徴を有する。
(化工日10/2)
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十条ケミカルは、従来のUV型感圧接着剤を大きく上回る剥離強度や保持力に加え、組成中に有機溶剤分を一切含まず、環境適性も満たしたスクリーン印刷用UV型感圧接着剤「GELCON RAYTACK-10」を開発した。
(化工日10/3)
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T&K TOKAは、オフセット輪転印刷用およびUV印刷用に最適化したブランケット新製品2種の市場展開を開始した。
(化工日10/3)
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東洋合成工業は、ArFエキシマレーザ対応フォトレジスト用樹脂の生産体制を拡充する。現行設備に比べ約5倍の生産能力(10〜15t/y)となる。04年1月に試運転開始。
(化工日10/6)
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半導体製造装置業界の極微細化戦略特集記事:次世代ステッパーの本命は?エキシマレーザと電子線?極端紫外線?ふっ素ダイマー?
(日刊工業10/9)
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物質・材料研究機構の古屋ディレクターらは、有機ガスに収束した電子ビームを照射して、直径3ナノメートル以下の多数の枝を有する樹木状のナノ構造の作製に成功した。
(日刊工業10/10)
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世界の半導体メーカー約70社が加盟する統計機関である世界半導体市場統計(WSTS)は、2004年の半導体市場予測を発表した。世界全体の出荷額は、2003年見込み比19.4%増の1918億6千百万ドルと予測した。
(日経産業10/29)
UV/EB関連情報(9月度’03)
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ガードナージャパンがまとめた03年4−6月期の世界の携帯電話端末販売台数は、1億1千4百80万台で前年同期比11.9%増となった。シェア第1位はノキアで、35.9%であった。
(日経産業9/5)
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大日本印刷は、電子線加工化粧用シートの販売を拡大している。同社の建材用シートに占める電子線加工製品の比率は、3年前の約7%から2003年度は約13%とほぼ倍増している。
(日経産業9/8)
- 東京工業大学の池田富樹教授らは、紫外光を当てると変形する液晶薄膜を開発した。液晶分子にアゾベンゼン誘導体を使用。Nature誌に発表した(Nature Vol.425, 11Sept., 145, 2003)。
(日刊工業9/11)
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三井化学は、三洋マービック・メディアと共同で、トウモロコシを原料とする植物由来の生分解性樹脂を使った光ディスクを開発した。耐久性はポリカーボネート製ディスクと同程度。
(化工日9/26)
UV/EB関連情報(8月度’03)
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日本化薬は、大型LCD製造に欠かせないUV硬化型シール材を開発、厚狭工場に生産設備を立ち上げ、9月から商業運転を開始する。
(化工日8/1)
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極端紫外線露光システム技術開発機構(EUVA)は、EUV光源の開発で出力0.6ワット、繰り返し周波数10キロヘルツを達成した。
(化工日8/5)
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日本化薬は、UV硬化型DVD用接着剤を増産する。年後半に福山工場で月200トンへの能力倍増を行う。
(日刊工業8/5)
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半導体先端テクノロジーズは、線幅65ナノメートルのLSI製造に必要な微細加工技術を開発した。直径300ミリメートルの大口径シリコンウエハーで30ナノメートルレベルの高精度加工が可能。
(日経産業8/6)
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シミズは、電着塗料のベース樹脂へ独自にアクリロイル基を導入することで、UV硬化型電着塗料の密着性や靭性が大きく向上することを見出した。
(化工日8/13)
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東京大学片岡教授、大阪府立大原田講師らは、光増感剤と樹状高分子のデンドリマーを高分子で包みこんだナノサイズの微粒子を開発した。レーザー光の照射により活性酸素を発生する。
(日刊工業8/19)
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HOYAは、半導体製造の次々世代技術である極端紫外線(EUV)対応ブランクス(ガラス基板上に金属薄膜を成膜し、さらにその上にレジスト(感光材料)を塗布したもの)とマスク試作に国内マスクメーカーとして初めて成功した。
(日刊工業8/22)
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放射線医学総合研究所は、放射線の照射幅を2マイクロメートルまで絞ることができる「マイクロビーム細胞照射装置」を開発した。
(日刊工業8/22)
UV/EB関連情報(7月度’03)
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アークは、自動車のインパネやバンパなどの大型製品の光造形による試作品事業を本格展開する。ベルギーのソウトウェア開発会社との合弁会社、マテリアライズ社で大型試作品の量産体制に入る。
(日刊工業7/2)
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東京応化工業は、超微細な線幅の半導体回路加工が可能なArFレーザ光線に対応するフォトレジストの量産を始めた。波長193ナノメートルのArFエキシマレーザを光源に半導体回路を加工する際に使用する。
(日経産業7/4)
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東京理科大の谷口講師らは、深さの異なる微細な3次元パターンを電子線露光の加速電圧を変えるだけで、簡単に作れるナノプリント向け鋳型作製技術を開発した。転写する時は鋳型に光硬化樹脂を流し込み、紫外光をあてる。加速電圧による深さ制御は20ナノメートルと高精度である。
(日刊工業7/8)
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積水化学工業は、LCDの製造プロセスにおいて、上下二枚のガラス基板を貼り合わせる際に用いるエポキシ・アクリル樹脂系の高純度な紫外線硬化型シール剤を開発した。シール直後の未硬化時に液晶を汚染しないことが特徴。
(化工日7/9)
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大日本スクリーン製造は、従来機種に比べて処理速度が25%向上したレジスト塗布現像装置を開発した。毎時150枚の高速処理ができる。装置内でのウェハーの搬送経路などを見直したもの。
(日経産業7/10)
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東京電機大学の堀内教授らは、半導体の回路を焼き付ける際に、光を当てる位置をわずかにずらすことにより、細い線を描く技術を考案した。紫外線レーザを使った場合の限界とされる線幅130ナノメートル程度を80ナノメートルまで細くできる。
(日経産業7/10)
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谷口インキ製造は、職人芸とされているUVインキの調色を、素人でも簡単に10分程度で出来るようにした自動調色システムを開発した。装置は分光光度計を備えた自動展色機と自動軽量、攪拌装置、UV照射装置などで構成されている。1台1650〜1900万円。
(日刊工業7/18)
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高輝度光科学研究センターと放射線医学総合研究所、東京大学は、加速器を使って短パルスの電子ビームを発生させる技術を共同開発した。電子ビームのパルス幅は600フェムト秒。
(日経産業7/25)
UV/EB関連情報(6月度’03)
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世界半導体市場統計(WSTS)は、2003年の半導体市場予想をまとめた。出荷額は前年比11.5%増の1569億ドル(約19兆円)の見通し。
(日経産業6/4)
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武藤工業は、プリント配線板向けに切り替え二色印刷ができるインクジェット式のシンボル印刷機を開発した。紫外線硬化装置を標準装備したことでインクの予備硬化時間を削減できる。
(化工日6/9)
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太陽インキ製造は、日本および米国で水系樹脂をベースとした次世代タイプのレジストインキ開発に本格着手する。国内では業界初のオキセタン樹脂ベースのソルダーレジストなどに加え、印刷手法とUV硬化を組み合わせた完全無溶剤タイプのレジストインキ開発に着手する。
(化工日6/16)
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北海道大学の三澤教授らは、フェムト秒レーザービームから出た光を回折光学素子を使って極めて単純な形で多光子の干渉を行う技術を確立した。用いた感光性樹脂は「SU-8」と呼ばれるポジ型のフォトレジスト材料。光造形への応用が期待される。
(化工日6/16)
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独インフィニオンテクノロジーズと米クラリアント電子材料部門のAZエレクトロニック・マテリアルズは、F2(ふっ素ダイマー、157ナノメートル)用フォトレジストを共同開発する契約を締結した。この契約によってインフィニオンは線幅55ナノメートルのDRAM量産にめどをつけた。
(化工日6/25)
UV/EB関連情報(5月度’03)
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「先端分野でも応用広げるUV/EB硬化技術」特集座談会
(メンバー:神奈川大学/西久保工学部長、東京工業大学/池田教授、東洋インキ製造(株)/臼井専務、JSR(株)/別所取締役)
(化工日5/6)
なお、6/4〜6/6にパシフィコ横浜で開催予定のラドテックアジア’03国際会議はSARSのため、12/9〜12/12同所開催に延期された。
- 精英堂印刷は、東洋インキ製造と共同で、古紙リサイクルにも適した、脱墨が容易な水なし印刷用の新タイプのUVインキを開発した。
(日本経済5/7)
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アドテックエンジニアリングは、縦方向と横方向を別々の倍率で露光できる新型の拡大投影露光装置を開発した。歩留まりが向上する。
(日経産業5/30)
UV/EB関連情報(4月度’03)
- 明和グラビアは、ダイヤモンドに近い輝きを実現したアクリル樹脂系のイミテーションダイヤモンド「ソフトダイヤモンド」を開発した。「ソフトダイヤモンド」は、液状のアクリル樹脂を12面カットのダイヤの形をした金型に充填、ポリエステルフィルムを密着させ、紫外線を当てて固化、あと加工する。
(日経産業4/4)
- LCDをはじめとするFPD用レジストの市場が急速に拡大している。LCD向けレジストはg線(波長436ナノメートル)からi線(波長365ナノメートル)へと高付加価値化が目立ち、世界市場の規模も300億円以上に成長している。
(化工日4/15)
- チバ・スペシャルティ・ケミカルズは、塗料、印刷インキ向け光重合開始剤で相次ぎ新製品を投入する。業界で初めて残留アセトンなどをフリー化、低揮発性でUV硬化時の臭気もカットした新製品「チバイルガキュア754」を全世界で販売開始した。アルファアミノケトン光重合開始剤についても開発に着手している。
(化工日4/18)
- チバ・スペシャルティ・ケミカルズは、ArFエキシマレーザ対応のフォトレジスト用光酸発生剤を開発した。顧客へのサンプルワークを開始。
(化工日4/23)
- 岩崎電気は、円筒空間体での電子線照射技術により、立体形状物でも未照射部分を残さず、1台の装置で、瞬時に均一の照射ができる、低エネルギー電子線照射装置「アイリングビーム」を発売する。
(日刊工業4/24)
- 電子情報技術産業協会(JEITA)は、2002年度のパソコン出荷実績を発表した。総出荷は、台数ベースで01年度と比べ8%減の1千42万3千台、金額ベースで同比9%減の1兆7千42億円となった。
(日経産業4/24)
- 三井化学は、既存試作品に比べてコストが百分の一以下のプリント配線板ボード内伝送システムを開発した。ふっ化ポリイミド光導波路フィルムの両端に面発光レーザと受光素子を直接光接合した光配線素子を、電気的にプリント配線板上に接続する構造を有する。マルチモードふっ化ポリイミド光導波路を用いて、端面UV硬化樹脂などで直接、発光素子や受光素子を接合した。
(化工日4/24)
- 大阪大学の山本孝夫助教授らは、放射線を使い、鉄酸化物に金粒子を析出させた複合ナノ粒子の作製に成功した。水中でイオン化した鉄酸化物と金にガンマ線を照射、複合粒子を得るもの。
(日刊工業4/25)
- リンテックは、中国で半導体製造用保護テープの販売を強化する。現地法人を設立して、保護テープ着脱に必要なUV照射装置などのメンテナンスやマーケティングを行う。
(日刊工業4/25)
- JSRは、半導体回路の65ナノメートルの線幅を可能にするフォトレジストのサンプル出荷を始めた。露光装置の光源は主にArFレーザを想定、F2レーザにも対応する。
(日経産業4/28)
UV/EB関連情報(3月度’03)
- ジェイ・エム・シーは、従来の転写作業が不要なうえ、5〜8割程度の超短納期化も実現する、光造型から鋳造モデルまで一貫して作成できる、新しい鋳造作製法を開発した。
(化工日3/3)
- 三洋電機は、提携する米イーストマン・コダックと共同でフルカラーの有機ELの量産をはじめた。月産数量は当初10万枚(2インチ換算)。
(日経産業3/4)
- 住友電気工業は、中国での電子ワイヤ生産を大幅に増強する。耐熱性を付加する照射設備をいち早く現地導入するなどにより、製品の差別化を図る考え。
(日刊工業3/4)
- 大日本インキ化学工業は、LCDの製造工程で使う光配向膜市場に参入する。部品メカー向けにサンプル出荷を開始した。光によるアゾ化合物の分子の再配列を利用するもの。
(日刊工業3/7)
- 東京大学の上坂教授らと放射線医学総合研究所、日本原子力研究所の共同チームは、プラズマにレーザーのみを入射して高エネルギー電子線を発生するレーザープラズマ加速実験に成功した。加速器が小型化できる。
(日刊工業3/13)
- 東京応化工業は、ふっ化アルゴンエキシマレーザー対応型のフォトレジストを4月から量産する。量産するのは、回路線幅100ナノメートル以下のLSIの回路作製工程で使うふっ化アルゴンレジスト「TARF-P/Nシリーズ」。原料はアクリル系樹脂。
(日刊工業3/20)
- 住友化学工業は、韓国で第五世代のLCD用カラーフィルターの量産を開始した。現地子会社である東友STIの生産ラインが立ち上がったもので、生産能力は月間6万枚(基板サイズ1100ミリ×1250ミリ)。
(化工日3/24)
UV/EB関連情報(2月度’03)
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太陽インキ製造は、カチオン硬化型樹脂として一般的なエポキシ樹脂と比べ、保存安定性に優れ、柔軟な硬化皮膜が得られる、完全一液化も可能なオキセタンソルダーレジストを世界で初めて開発した。
(化工日2/5)
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住友重機械工業は、タツモと共同開発した、液晶パネル基板の大型化に対応するスピンレスフォトレジスト塗布装置の一貫組立ラインを住友重機械工業岡山製造所に新設する。4月から生産開始の予定。
(化工日2/5)
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ニコンと半導体11社が出資する半導体テクノロジーズ(セリート)は、EBを使った回路露光装置の開発で、転写する回路パターンのつなぎ精度を、実用化に必要な20ナノメートル台に引き上げることに成功した。
(日経産業2/6)
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日本半導体製造装置協会(SEAJ)と国際半導体製造装置材料協会(SEMI)ジャパンは、2002年の世界の半導体製造装置販売統計をまとめた。それによると世界販売額は、2001年比30.3%減の195億4千7百12万ドルであった。
(日経産業2/18)
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半導体テクノロジーズ(セリート)は、F2(ふっ素ダイマー、157ナノメートル)リソグラフィーを用いた回路線幅65ナノメートル加工に成功した。65ナノメートルプロセスLSIのゲート回路を形成した。
(化工日2/25)
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液晶製造装置メーカーのナカンは、高分子有機EL用インクジェットプリンターメーカーの米ライトレックスと技術提携し、LCD用ガラス基板の大型化に対応した精密成膜装置の開発に着手する。
(日刊工業2/25)
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太陽インキ製造は、従来容器比で約50分の1の廃棄物削減に加え、輸送・保管時の容積も2分の1に低減する環境対応型のソルダーレジストインキ用新容器、ソフトラミネートフィルムによる軟包材「レジパック」を開発、自社製品への適用をスタートした。
(化工日2/25)
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市場調査会社のIDCによると、2002年の国内パソコン出荷台数は1千245万5千7百台と2001年比11.1%減となった。
(日経2/26)
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日本化薬は、LCDの製造工程で使うUV硬化型封止材市場に参入する。山口県厚狭工場内に製造設備を新設し、2003年半ばに稼動予定。UV硬化型封止材は、大型液晶テレビ製造に必須な材料。
(日刊工業2/27)
- 大日本印刷は、大型液晶テレビやプラズマディスプレーパネル(PDP)用の高い光学特性と帯電防止性能を有し、従来の三分の一の製造コストを実現した新タイプの低価格反射防止フィルムを開発した。本反射防止フィルムは、金属酸化物などの無機微粒子とバインダ樹脂を紫外線や電子線硬化型の高硬度樹脂の溶液に混練、分散した独自に開発したインキを用いている。
(化工日2/27)
UV/EB関連情報(1月度’03)
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東洋インキ製造は、実用域レベルでは世界でも初のEB硬化インキ使用の印刷システムを製品化、小ロットパッケージや包装印刷向けに本格販売を開始する。
(化工日1/7)
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半導体製造装置のアルバックと印刷機メーカーのマイクロ・テックは、スクリーン印刷の手法で基板に回路を形成する装置を開発した。ナノメートルレベルの金属粒子をペースト状にした材料をインクのように基板上に転写する。ペースト材料は、ハリマ化成と開発した。
(日経産業1/7)
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日立化成工業は、積層板の生産で中国に進出する。広東地区を有力候補地とし、05年3月までに新会社を設立する。中国拠点では、多層プリント配線板用の銅張積層板を生産する。総投資金額は30億円程度。
(日刊工業1/9)
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米国調査会社IDCがまとめた2002年の世界のパソコン出荷台数は、1億3千6百2万台と予測され、前年比1.5%増となるもよう。台数の世界シェアは、デル15.2%、HP13.6%、IBM5.9%、富士通・シーメンス4.3%、NEC3.3%となっている。
(日経産業1/20)
- 日新電機は、EB照射の受託サービス事業を強化する。約1億円を投じて子会社・日新ハイボルテージの受託用照射設備を1.5倍に拡大する。
(日経産業1/20)
- 凸版印刷は、パソコンや携帯端末に使うプリント基板の回路線幅を従来の半分にする技術を開発した。これまで回路線幅70マイクロメートル程度が限界であったが、同35マイクロメートルまで狭めることができる。
(日経産業1/21)
UV/EB関連情報(12月度’02)
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日本化薬は、米ベンチャー企業のマイクロケム社と提携し、インクジェットプリンターの噴射口など微細成形品の材料となる感光性樹脂事業に進出する。日本に合弁販売会社を設立する。
(日経産業12/2)
- 積水化学工業は、半導体製造工程におけるウエハーのパターン回路保護・搬送用テープ市場に新規参入する。特殊プラスチックフィルム基材上にUV自己剥離型粘着剤を設けた、ウエハーの極薄加工対応の両面粘着テープ「セルファ」を開発、販売する。
(化工日12/3)
- JSRは、米ハネウェル・エレクトロニック・マテリアルズ社と半導体の回路形成工程で使用する反射防止膜を全世界で販売する契約を結んだ。フォトレジストと組み合わせて使用する。線幅0.07マイクロメートルまで形成できるレジストに対応している。
(日経産業12/6)
- 大林道路は、老朽化した下水管を開削せずに更新する管更正事業に進出する。イセキ開発工機から光硬化工法を取得、施工専門子会社「東洋パイプリノベート」を設立して調査から診断、施工、メンテナンスまで手掛ける。光硬化工法は、腐食などで老朽化した既存管内に樹脂更正材を挿入、紫外線を照射して樹脂を硬化させて管を更新する。
(日刊工業12/10)
- 住友化学工業は、需要が拡大しているLCDの駆動IC向け金バンプ形成用に感度を従来比約80倍に高めたi 線厚膜レジストと、プラズマディスプレーの生産部材などに応用が期待できる高耐熱(1千度C)性レジストを開発した。
(化工日12
/17)
UV/EB関連情報(11月度’02)
- 三井化学は、独自のカチオン系新規材料の配合などで高速硬化特性を高め、従来比半分以下の硬化収縮率で高精度な寸法安定性を実現した有機ELディスプレー用のシール剤を開発した。高重合特性、高速硬化性を持つカチオン系新規材料などで、UV硬化のシール剤でネックであった硬化収縮率を改善した。
(化工日11/5)
- エルディブ・エンジニアリング研究所は、脂環式エポキシドを原料としたUV硬化型塗料が、年率10%の成長を続けているという報告書をまとめた。同タイプのUV硬化型塗料「シラキュア」は大手ビール会社「クアーズ」がビールのアルミニウム缶の表面保護塗装に使用している。
(化工日11/7)
- 奈良機械製作所は、紫外線レーザによるナノスケールの造粒・コーティング・成膜技術「レーザアブレーションシステム」を開発した。
(化工日11/12)
- 日立電線は、従来の代表的なふっ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン(PTFE)と比較し、1千倍以上の超高耐磨耗性を持ち、ノンフィラーでふっ素基材からのダストや微細パーティクル発生もない、電子線照射架橋ふっ素樹脂の市場開拓を開始した。
(化工日11/15)
- 技術研究組合・極端紫外線露光システム技術開発機構(EUVA)は、2003年から大阪大学レーザ核融合研究センターが光源の研究に参加することを明らかにした。波長13.5ナノメートルの極端紫外線を使う極端紫外線リソグラフィー(EUVL)では、光源の開発が大きな課題となっている。
(化工日11/18)
- 新中村化学工業は、抗菌性に優れた天然素材ウンデシレン酸を含むアクリルモノマーを開発した。抗菌剤が樹脂に固定されているため、遊離し、人体や環境に影響を与えることがないのが特徴。
(日経産業11/19)
- 日東電工は、携帯電話の表示カバー部となる窓パネルを強力に固定できる両面接着テープを開発した。UV塗装面に強力接着する特徴があり、マスキング工法などが不要になる。
(日刊工業11/20)
- 最先端分野で市場広げるUV・EB硬化技術(西久保神奈川大学工学部長)
(化工日11/19)
- 独インフォニオンテクノロジーズは、次々世代リソグラフィー技術であるEUV(極紫外線)露光を用いて線幅60ナノメートルのパターンをレジストに転写する実験に成功した。
(化工日11/21)
UV/EB関連情報(10月度’02)
- ウシオ電機は、液晶表示装置の駆動装置のフィルム状回路基板の有効面積を、従来より約10%増やす紫外線露光装置を開発した。
(日経産業10/4)
- 日立電線は、配線間の幅を20マイクロメートルにする銅配線の加工技術を開発した。微細な配線の間隔になる部分のレジストを除くだけですむ利点を有する。
(日経産業10/4)
- チラシ印刷などの小松総合印刷所(伊那市)は、紫外線硬化型インクとニスに対応した新型の印刷機を導入した。導入したのは薄紙・6色対応のもの。
(日経産業10/4)
- ルキオは、フィルムラミネートなどの二次加工を施さなくても3年から5年の屋外耐候性が得られる英社製の紫外線硬化型インキ式大型インクジェットプリンターの国内輸入販売を開始した。
(化工日10/7)
- 松下電工マシンアンドビジョンは、紫外線照射装置の新型機種を発売した。紫外線の強度劣化を抑える機能を持つのが特徴。光ディスク用ピックアップレンズの接着などに用いる。
(日経産業10/9)
- 新中村化学工業は、樹脂用の帯電防止剤としては初の紫外線硬化タイプ「NKオリゴU-601シリーズ」を開発、市場投入を開始した。
(化工日10/10)
- 十条ケミカルは、ドイツのイシマット社が開発した次世代型のUV前処理システムに関する販売代理契約をイシマット・ジャパンと締結、販売展開を始めた。本「UVイトロシステム」は、独自機構により紫外線硬化型インキ・塗料の密着性を大幅に向上させる前処理。
(化工日10/23)
- 日立化成工業は、中国・広東省でプリント配線板の回路形成に使う感光性フィルムの生産工場を建設する。能力は年産5千万平方メートル、稼動開始予定は2003年4月。感光性フィルムの世界市場は年間約4億平方メートル、日立化成工業のシェアは26%。
(日経産業10/24)
UV/EB関連情報(9月度’02)
- ウシオ電機は、スポットUV照射装置を増産する。2002年度は2500台、2004年度には6000台を生産する。増産分の大半は中国に輸出する。
(日刊工業9/2)
- セイコーアドバンスは、紫外線硬化型インキの新製品を相次ぎ開発した。独自の材料配合ノウハウで、硬質ポリプロピレンへの密着性を向上させた新インキを製品化、また、ポリエステル基材向けの新インキなどについても製品供給がスタートしている。
(化工日9/3)
- 横浜国立大の友井教授らは、CDの透明基板などに使うポリカーボネートの微細加工技術を開発した。回路線幅が従来の約5分の1(10マイクロメートル)の配線を有するプリント基板や、光信号を通す微細回路を、光照射により作成できる。
(日経産業9/4)
- 東京エレクトロン、荏原、大日本スクリーン製造の3社は、電子線を使用して回路を形成する次世代の半導体製造装置をてがける共同出資会社、イービーエム(仮称)を設立する。フォトマスクを使用せず、電子線で直接描画する技術を採用、2005年度までに線幅65ナノメートルに対応する製品を実用化する。
(日経産業9/6)
- 十条ケミカルは、成形と同時に表面印刷も完了するインサート成形やインモールド成形用に最適な光沢型の紫外線硬化型インキ新グレード「レイキュアーUIM6200シリーズ」を開発した。
(化工日9/9)
- メイコーは、レーザー光を使用する、貴金属装飾品などの立体モデル小型造形機「名工(LCV-700)」を開発、販売する。造形できる寸法は、縦、横、奥行きとも60ミリ。光硬化性樹脂も独自に開発した。
(日経産業9/13)
- 大日本印刷は、色再現性を大幅に高めたLCD用カラーフィルターを開発した。国際規格のISO12642に規定される四色印刷評価用データ928色を完全に再現することができる。
(化工日9/13)
- NBCは、かぶりのない細線解像性や、微細線幅の20マイクロメートルといった高細線解像度を容易に実現するフォトエマルジョン系の乳剤を製品化、高精細スクリーン専用として市場展開を始めた。
(化工日9/18)
- 野村マイクロ・サイエンスは、ピュアレックスと共同で、エチレンカーボネート(EC)を利用したフォトレジスト剥離技術を開発した。開発した「ECレジスト剥離技術」は、ノボラック型レジスト硬化膜を対象に剥離・除去するもので、剥離レートは毎分20マイクロメートル。
(化工日9/26)
- 松下電工マシンアンドビジョンは、紫外線硬化装置の中国生産を開始した。DVD用光ピックアップ部品の接着向けなどで新市場の開拓を行う。
(化工日9/27)
UV/EB関連情報(8月度’02)
- 東洋インキ製造は、台湾でLCD用カラーフィルター向けレジストインキを生産する新工場を稼動させた。日本国内の2工場を合わせて、生産能力は5割増の年間3千トンとなった。
(日経産業8/1)
- 日本ペイントは、樹脂フィルム基板を使用した有機EL用の封止剤を開発した。樹脂フィルムを透過しやすい可視光線で固化することができる。
(日経産業8/7)
- 大日本印刷とHOYAは、次世代半導体用マスクブランクを共同開発するとともに、HOYAが大日本印刷にマスクブランクを長期供給することで合意した。大日本印刷のフォトマスク世界シェアは約20%、HOYAのマスクブランク世界シェアは約70%。
(日刊工業8/8)
- 富士フィルムアーチは、半導体用フォトレジストを強化している。フッ化クリプトン対応では、線幅110ナノメートルに適用できる製品を開発した。フッ化アルゴン対応も昨年から外部評価に入っており、ベルギーの半導体研究所・IMECの標準レジストに採用された。
(化工日8/12)
- 産業技術総合研究所は、強誘電体のストロンチウム・ビスマス・タンタレート(SBT)薄膜の化学溶液法製膜プロセスで紫外線を照射して、結晶構造を制御することに成功した。
(日刊工業8/20)
UV/EB関連情報(7月度’02)
- 熊本アイディーエムは、低価格の紫外線照射装置を開発した。紫外線ランプを最大で直径300ミリメートルのシリコン基板を同時に2枚照射できる台を組み合わせたのが特徴。
(日経産業7/1)
- クレスティックは、独自開発した電子ビームによる超微細加工装置の海外販売に乗り出した。
(日経産業7/1)
- セリックは、歯科治療に使用する光重合型樹脂を硬化させる低価格の照射器「セリック21」を開発した。
(日経産業7/5)
- 東洋ケミカルズは、韓国から輸入するUVモノマー、UV樹脂重合開始剤の伸びが好調で、販売数量で昨年比40%増となる月間70トン程度にまで拡大した。
(化工日7/8)
- 三重大学、大阪市立工業研究所、科学技術振興事業団(JST)は、共同で木材の未利用成分リグニンから製造した「リグノフェノール」を使用したプリント配線用フォトレジスト材料を開発した。
(日刊工業7/22)
- ポラテクノは、液晶プロジェクター用偏光板の製造能力を拡充した。これまでの年700万枚の加工能力を同1200万枚に引き上げた。
(化工日7/23)
- 東洋インキ製造は、国内および台湾でのカラーフィルター向けカラーレジストインキ展開を大幅に拡大した。計画を前倒しにし、日本、台湾で年3000トンの供給体制を整えた。
(化工日7/29)
UV/EB関連情報(6月度’02)
- シーメットは、従来機に比べ訳0%の高速化・高精度化を図った光造型装置「ラピッドマイスター」3機種を開発、販売を始めた。
(日刊工業6/4)
- オーク製作所は、半導体励起固体レーザで波長266ナノメートル、最大出力1ワットのUVレーザ「ALE-8200」を開発した。ビア50マイクロメートル以下のスルーホールの加工が可能。
(日刊工業6/4)
- 日本ペイントは、既存のプリント基板用製造装置を使って、線幅が2−10マイクロメートルと従来の半分以下の電子回路を作る技術を開発した。光を当てると親水性を持つようになる感光性樹脂を採用。
(日経産業6/5)
- 富士通は、複数のLSIチップを従来の1/3の厚さで積層できるパッケージ技術を開発した。
(日経産業6/7)
- 綜研化学は、紫外線で硬化する無溶剤型アクリル系粘着剤を開発、まず両面粘着テープ用に販売を開始した。
(化工日6/7)
- 旭化成は、7マイクロメートル厚の超高解像度ドライフィルムレジストを開発、サンプルワークを開始した。
(化工日6/12)
- 大日本印刷は、酸化チタンの光触媒作用を利用し、基板上に微細パターンを形成する、処理時間が約1分に短縮する新技術を開発した。液晶フィルター向けに導入する。
(日経産業6/12)
- 大阪大学の山本教授らは、光記録層を何層も重ねて情報を読み書きする「三次元多層光メモリ」の基本技術を開発した。角砂糖大に1テラの高密度記録が可能(DVDの約200倍)。
(日経産業6/13)
- 電子情報技術産業協会(JEITA)は、光ディスク、ハードディスクドライブ(HDD)などの記録装置に関する2001年度版調査報告をまとめた。光ディスク装置の2001年の世界市場規模は約1億7千6百万台で前年比7%減。技術動向では青紫色レーザの課題解決が不可欠としている。2001年実績は、CD-ROM9千百万台(22%減)、DVD-ROM2千7百万台(4%減)、CD-R/RW4千6百万台(17%増)、CD-R/RW+DVD-ROM複合9百万台(437%増)、追記書き換え型DVD130万台(189%増)、MO180万台(13%減)であった。
(化工日6/18)
- 東ソーは、半導体用フォトレジストモノマで攻勢。ふっ化クリプトンレーザ対応のモノマ生産を立ち上げ、新世代のふっ化アルゴン向けのサンプル出荷を開始、ふっ素ダイマ向けもふっ素化合物系で独自の展開を図る。
(化工日6/28)
UV/EB関連情報(5月度’02)
- UV/EB硬化技術特集(市村東京理科大学教授)
(化工日5/9)
- 三洋電機は、2002年度、液晶ディスプレー(LCD)事業の連結売上高を前年比ほぼ倍増となる1千億円台に乗せる計画である。
(化工日5/10)
- 産学協同ベンチャー、ナイトライトセミコンダクター(鳴門市)は、紫外線発光ダイオード(LED)の出荷をチップ、ウエハーの形で始めた。月産個数は50万個。
(日経産業5/13)
- 東海大学の西教授らは、岩崎電気と共同でガラスに電子線を照射するだけで、硬さやしなり強さを約1.8倍に向上させる手法を開発した。
(日経産業5/17)
- 凸版印刷は、液晶カラーフィルターの世界シェア50%体制の堅持を図る。新潟工場、滋賀工場、に加えて、技術供与先の台湾2社が稼動し、月産340万枚(12インチディスプレー換算)体制となる。
(化工日5/22)
- ニコン、キャノンや半導体メーカーは、「技術研究組合・極端紫外線露光システム技術開発機構」の設立総会を開催、極端紫外線(EUV=波長13ナノメートル)を使った次世代半導体露光技術の開発を推進する。経済産業省プロジェクトとして取り組む。
(化工日5/24)
- 東洋合成工業は、フッ化アルゴンエキシマレーザー対応フォトレジスト用樹脂の専用生産設備を千葉工場内に設けた。サンプル出荷を開始した。
(化工日5/29)
UV/EB関連情報(4月度’02)
- キリンビールは、日本原子力研究所と共同で、イオンビーム育種技術を活用し、スプレーカーネーションの新品種開発に成功した。
(化工日4/8)
- グレースジャパンは、紫外線・電子線照射硬化システム専用のつや消し剤「サイロイドRADシリーズ」の輸入販売を開始した。
(化工日4/9)
- 電力中央研究所・低量放射線研究センターでは、低レベル放射線が、がんの発症を抑える作用を持つことを、マウスを用いた実験で確認した。
(化工日4/15)
- 東洋インキ製造は、光ディスクメディア製造に使われる保護コート・接着剤・レーベル印刷までの紫外線硬化型コーティング製品の全ラインアップを揃え、ディスクメディア製造装置メーカー、パッケージメーカーへの本格的な販売活動を始めた。
(化工日4/17)
- 東洋合成工業は、フッ化クリプトンフォトレジスト樹脂の専用設備を千葉工場内に設け、本格操業を開始した。
(化工日4/17)
- 姫路工業大学の木下教授らは、放射光施設「ニュースバル」に付設した波長13.5ナノメートルのEUV逐次露光装置を使い、10×10ミリメートルの大面積露光で、世界初の走査露光による60ナノメートル線幅(L&S)パターンの転写に成功した。
(日刊工業4/18)
UV/EB関連情報(3月度’02)
- 神奈川科学技術アカデミー(KAST)は、可視光照射で磁性が変化するコバルト錯体を見い出した。コバルトの原子価が変化することで磁性が変化するもので、830ナノメートルと532ナノメートルの光でオン、オフのスイッチイングができる。
(化工日3/4)
- 半導体先端テクノロジーズは、次世代半導体に必要な55ナノメートルの微細パターン形成に成功した。F2レーザを光源とした露光技術で、露光装置に開口数が0.85と高いレンズを使用するとともに、極短波長のF2でも60%以上の透明性を確保するレジスト材料を、ふっ素樹脂メーカと共同開発したもの。
(日刊工業3/5)
- ダイキン工業は、回路線幅65ナノメートル以下という超微細加工に対応しながら、既存のArFレジンなみの耐ドライエッチング性を確保したフォトレジスト用ふっ素樹脂を開発した。
(化工日3/6)
- 富士通研究所は、微細パターンの形成が可能な帯電防止材料を開発した。導電性ポリマーと感光性ポリマーを均一に複合化したもので、微小領域でもフォトリソグラフィーによって選択的に帯電防止機能を付与することができる。
(化工日3/6)
- JSRは、LCD製造プロセス向け光配向膜の開発にめどをつけた。開発したのはカルコン基を導入したマレイミド−スチレン共重合体で、液晶配向規制力はラビング法と同等以上であることを確認した。照射する紫外光は355ナノメートルを選択。
(化工日3/22)
- 住友重機械工業は、芝浦メカトロニクスから半導体用封止装置事業を買収、100%子会社サイネックスを強化する。
(日経産業3/25)
- 東亜合成は、アクリル事業の川下展開を加速する。オキセタン樹脂の年産500トンプラントを年内に稼動させる。
(化工日3/26)
UV/EB関連情報(2月度’02)
- 大日本インキ化学工業は、光重合開始剤を使わないUV硬化システムの実用化技術を開発した。新規開発の液状のマレイミド誘導体を使用するもので、マレイミド分子に独自の修飾構造を導入した。
(日刊工業2/4)
- 三菱重工業は、β線、γ線を同時計測できる「微量放射線高速計測装置」を開発した。放射線計測装置分野に本格進出する。
(化工日2/5)
- カシオ計算機は、高知県にTFT(薄膜トランジスタ)液晶ディスプレー(LCD)の新工場を完成させた。建設費は約120億円。生産能力はマザーガラス(320×400ミリ)投入量で月1万5千枚であり、同社の生産能力は倍増する。
(化工日2/14)
- 日本原子力研究所は、ごみ焼却から発生するダイオキシン濃度を、電子ビームを使って1/10以下にする技術を開発した。法改正で平成14年12月から厳しくなるダイオキシン排出規制をクリヤできるメドをつけた。
(日経産業2/15)
- 積水化学工業は、半導体チップのプラスチックパッケージ用に高機能粘着テープ技術を使った画期的な回路形成転写テープを開発した。配線を形成する銅箔と強力に密着する反面、絶縁層への転写工程では紫外線照射などによって容易にテープを剥がせる。
(化工日2/19)
- ヘンケルジャパンは、従来品の10倍の紫外線硬化膜厚保性能を持つシリコーンシール剤の市場開拓を開始した。新製品は30秒の紫外線照射で20〜30ミリメートルの膜厚が得られる。
(化工日2/25)
UV/EB関連情報(1月度’02)
- 大日本印刷は、高高密度実装ができる多層パッケージ基板に本格進出する。東芝と共同出資した府中市にある新工場の稼働を開始。
(日経産業1/7)
- 太陽インキ製造は、プリント基板用のレジストインキを中国で生産する。2002年12月をめどに、年産2千トンの工場を建設する。同社は中国で4割近いシェアを有する(現在千トン/年)。
(日経産業1/11)
- セントラル硝子は、F2(ふっ素ダイマ)レーザプロセスに対応した次世代フォトレジスト用モノマの合成技術を確立した。HFA(ヘキサフルオロアセトン)をベースにしたもの。
(化工日1/16)
- 旭硝子は、F2(ふっ素ダイマ)レーザに対応したレジスト用ふっ素樹脂の高性能化に成功した。膜厚が250ナノメートルと実用レベルを実現するとともに、線幅100ナノメートルの微細パターンを形成することができた。
(化工日1/18)
- TDKは、DVD-RとDVD-RWの生産能力を3倍に増やす。DVD-Rの今年の世界需要は前年比4.6倍、DVD-RWは同3.3倍へ大幅に増加するため。現在の能力はDVD-Rが12から13万枚/月、DVD-RWが10万枚/月程度。
(化工日1/22)
- ピーアイ技術研究所は、ポジ型感光性ポリイミドインクを開発、販売を開始した。2から20マイクロメートルという高解像性のパターンが得られる。スクリーン印刷が可能であるため、スピンコートに比較して廃棄分が減少するので、コスト低減が実現できる。
(日刊工業1/25)
- レイテックは、小動物診断用の小型X線CT(コンピュータ断層撮影装置)を製品化した。照射量を1ラド以下に抑えられる。
(日刊工業1/30)
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