UV/EB関連情報12月度’07
-
東京応化は、次世代のリソグラフィー工程用高機能2回露光レジストを開発した。
(化工日12/3)
-
三菱レイヨンは、ArFエキシマレーザ対応レジスト用アクリルポリマの新規製造設備を横浜で稼働した。
(化工日12/18)
-
アプライド・マテリアルズや東京エレクトロンは、回路線幅30ナノメートルの半導体メモリ製造向けにサイドウォール方式を推進。
(日経産業12/21)
UV/EB関連情報11月度’07
-
本州化学工業は、金属をppbレベルまで除去する、高性能用途用フォトレジスト材料製造設備を増強した。
(化工日11/2)
-
三菱マテリアルは、優れた帯電防止性と透明性を有するUV硬化型の水系導電塗料を開発した。
(化工日11/12)
-
日本記録メディア工業会は、以下の世界需要予測を発表した:データ用CD−Rは、08年に前年比7%減の63億2800万枚;追記型DVDは、08年に12%増の61億9500万枚;青紫レーザディスクは、10年に2億1500万枚。
(化工日11/19)
-
ミヤカワは、導光板を,従来の射出成型方式に比較して30倍近い効率で生産できるインクジェット-UV硬化方式の製造設備を発売する。
(日経産業11/30)
UV/EB関連情報10月度’07
-
カンタムエレクトロニクスは、照度が1平方センチメートル当たり600ミリワットのLED型紫外線照射装置を発売した。
(日刊工業10/3)
-
東芝は、ニコンの回路線幅45ナノメートルに対応する最新型の液浸ステッパーを採用した。
(日経産業10/19)
-
兼松ケミカルと三菱レイヨンは、UV硬化型フロアコーティング剤「UFHコート」を共同開発した。専用のUV照射装置も開発している。
(化工日10/24)
UV/EB関連情報9月度’07
- 東亜合成は、マレイミド基導入による新規光反応性アクリルポリマ、「アロニックスUVTシリーズ」を市場投入した。
(化工日9/18)
- 大日本印刷は、18ナノメートル半導体プロセスに対応できるナノプリント用テンプレートを開発した。
(日経産業9/18)
- チッソは、インクジェット印刷法に対応可能な新規光硬化性インキを開発した。
(化工日9/26)
UV/EB関連情報8月度’07
- 東洋アルミ商事は、LEDを光源とした、ライトガイド部分に光ファイバを採用した紫外線照射装置を開発した。
(化工日8/9)
- 角岡大阪府立大学名誉教授:UV/EB硬化技術の最近の話題と将来展望
(化工日8/9)
- エプソンイメージングデバイスは、PRTR対象のレジスト剥離剤の主成分「2-アミノエタノール」代替品を開発した。
(化工日8/13)
UV/EB関連情報7月度’07
- 東北大学の石坂助教授らは、光照射により発光し、加熱により消光する希土類(ユーロピウムなど)ドープポリイミドを開発した。
(化工日7/30)
UV/EB関連情報6月度’07
-
旭化成は、半導体の回路形成や燃料電池の電解質膜に使う樹脂材料を開発した。従来より高い解像度が得られる。
(日経産業6/5)
-
住友化学は、ArF液浸リソグラフィー用レジストの光酸発生剤(PAG)の高機能化品を開発した。
(化工日6/11)
-
ソニーケミカル&インフォメーションデバイス、大日本インキ化学工業、日本化薬は、ブルーレイディスク(BD)のカバー層向けUV硬化樹脂の生産を強化する。
(化工日6/14)
-
JSRは、半導体製造用次世代レジストインキの開発を加速するために、液浸スキャナを導入する。東京応化は、すでに導入している。
(化工日6/20)
-
十条ケミカルは、インモールド成型への適用性を向上させたUV硬化インキを開発した。皮膜の後加工性や耐熱性を一層高めた。
(化工日6/27)
UV/EB関連情報5月度’07
-
ハニー化成は、プラスチック部品向けのUV硬化型カチオン電着塗料を開発した。
(化工日5/1)
-
日立化成工業は、中国蘇州でのドライフィルムレジスト(DFR)新工場(生産能力:5千万平方メートル/年)の操業を開始した。日立化成工業の中国でのDFR生産能力は、1億5千万平方メートル/年となる。
(化工日5/9)
-
独立行政法人新エネルギー産業技術総合開発機構(NEDO)は、EUV露光において、世界トップレベルの解像度26ナノメートルを達成した。
(日刊工業5/31)
UV/EB関連情報4月度’07
-
ソニーケミカル&インフォーメションデバイスは、LCDの視認性向上と耐衝撃性を実現する弾性樹脂「Super View Resin(SVR)」を開発した。主成分はアクリル系UV硬化樹脂。
(化工日4/13)
-
出光テクノファインは、高透明性のコーティング剤を開発した。UV硬化タイプと熱乾燥タイプをそろえた。
(化工日4/16)
-
ナイトライド・セミコンダクターは、従来品比10倍増の寿命を持つUV発光ダイオード「NS375M−CPFV」を発売した。光樹脂硬化や蛍光材料の励起発光に使える。
(日刊工業4/20)
-
東洋インキ製造のオフセット印刷用広演色枚葉プロセスインキシステムが市場で注目されている。枚葉のUV硬化タイプを投入する予定。
(化工日4/25)
UV/EB関連情報3月度’07
-
日本化成は、帯電防止効果を5年以上維持できるUV硬化樹脂を開発した。
(日経産業3/13)
-
兵庫県立大学の木下教授らは、波長13.5ナノメートルのEUVおよびEB露光に対して、従来比10倍以上の感度を有する化学増幅系レジストを開発した。50ワットの現在の光源でEUVリソグラフィーが可能になる。
(日刊工業3/6)
-
ニチバンは、UV硬化塗料を使用した床用ワックスシートを商品化した。
(化工日3/13)
-
ウチダテクノは、UV硬化インキで内装材(凹凸のある表面や繊維素材)に図柄を印刷するUVプリント事業を始める。
(日経産業3/16)
-
サカタインクスは、油性インキ対応のインライン用超光沢UV硬化オーバーコートニスを開発した。
(化工日3/23)
UV/EB関連情報2月度’07
-
市村東邦大学教授「次世代UV/EB硬化技術に向けて」
(化工日2/19)
-
NECとNECエレクトロニクスは、回路線幅32ナノメートルの次世代半導体向けの新規な成膜技術を開発した。重合反応を利用するもの。
(日経産業2/19)
-
三明は、光ナノインプリント技術を採用した低価格の半導体回路パターン転写装置、ImpFlexを発売する。
(日刊工業2/20)
-
DVD用UV硬化型樹脂(接着剤および表面保護剤)の各社マーケットシェア(世界)
1位/大日本インキ(45%)、2位/日本化薬(25%)、3位/ソニーケミカル&インフォメーションデバイス。
09年のブルーレイ・ディスクおよびHD−DVDの世界需要は1億4100万枚。
(日経産業2/28)
UV/EB関連情報1月度’07
-
マテリアルサイエンスは、UV硬化粉体コーティング技術関するオープンラボを長野県岡谷市に開設した。
(化工日1/9)
-
電気化学工業は、電子部品材料用の仮固定UV硬化アクリル接着剤を開発した。UV硬化後に温水に浸漬すると簡単に剥離する。
(化工日1/11)
-
松下電工マシンアンドビジョンは、従来品に比較してUV照射量を2倍に高めた、LED方式のUV硬化装置を開発した。照射強度は1平方センチメートル当たり8000ミリワット。
(日刊工業1/15)
-
JSRと
神奈川大学は、EUV技術に対応した新規なフォトレジストを開発した。神奈川大学西久保教授が開発した低分子化合物「NORIA」を使用する。
(日経産業1/22)
-
サンライズMSIは、光学部品用の光硬化型接着剤のラインアップを強化した。
(化工日1/29)
UV/EB関連情報12月度’06
-
JSRは、液浸露光向けに屈折率1.78の液体露光材料を開発した。線幅32ナノメートルの半導体製造向け。
(日経産業12/4)
-
共和成産は、天然木の板にインクジェットで絵柄を直接印刷する壁面材を開発した。UV硬化インクを使用。
(日経産業12/4)
-
富士フィルムは、回路線幅45ナノメートルの次世代半導体向け液浸露光タイプのトップコートが不要となる新規なフォトレジストを開発した。
(日経産業12/5)
-
NTNは、液晶用カラーフィルターの欠陥を全自動で認識、修正する装置を開発した。無人運転が可能となる。
(日経産業12/6)
-
東レは、炭素繊維複合材料(CFRP)用の新しい可視光硬化型樹脂を開発した。エポキシ系で硬化時間は10分以内。
(日経産業12/6)
-
旭化成エレクトロニクスは、液晶ディスプレーのブラックマトリックス(BM)形成用ドライフィルムを開発した。遮光率の指標となるOD値が1マイクロメートル当たり5.0以上で次世代レベル。
(化工日12/7)
UV/EB関連情報11月度’06
-
三菱レイヨンは、光硬化性樹脂を用いた光学ローパスフィルタ(OLPF)を開発した。ケータイ用カメラなどに応用できる。
(化工日11/9)
-
東亜グラウト工業と湘南合成樹脂製作所は、地下パイプラインのリニューアル材料と新工法を開発する。ライナに含浸させた樹脂を、紫外線と発生する余熱で硬化させるもの。
(化工日11/16)
-
日本記録メディア工業会は、追記型DVDの全世界需要量は09年には69億枚まで拡大(06年は47億枚)する、ブルーレイディスクやHD DVDなどブルーレザーディスクは09年に1億4千枚まで増加する(06年は百万枚)と予測。
(化工日11/20)
-
富士フィルムは、EUVプロセス用フォトレジストを開発した。これを用いて線幅25ナノメータの解像に成功した。
(化工日11/21)
-
東京応化工業は、ArF含浸・二重露光に対応したレジスト技術を開発している。hp32ナノメータを実現する。
(化工日11/24)
-
大日本印刷は、hp22ナノメータに対応したテンプレートを開発している。すでにhp28ナノメータのL/Sパターン形成に成功している。
(化工日11/27)
UV/EB関連情報10月度’06
-
東洋インキ製造は、油性インキの上にコーティングしてもインキの光沢を維持できるUV硬化型オーバーコートニスを開発した。
(化工日10/4)
-
富士フィルムは、05年に買収した英セリコールと共同でUVインクの研究開発を行う。
(化工日10/4)
-
日立化成工業は、微細パターンを形成するガラスエッチング用の感光性フィルムを開発した。ふっ酸への耐性があり、ガラスへの密着性に優れている。
(化工日10/5)
-
大阪大学の高谷教授らは、1ミリ以下の樹脂部品を短時間に試作できる光造形手法を開発した。携帯電話やデジタルカメラの部品向け。
(日経産業10/5)
-
十条ケミカルは、ガラスに接着するスクリーン印刷用UVインキを開発した。
(化工日10/6)
-
大日本インキ化学工業は、PVA層と模様層の間にUV硬化樹脂層を組み込んだ自動車用装飾フィルムを開発した。PVA層を洗い流した後、UV照射硬化して表面保護ができる。この方式によりスプレー塗装が不要となり、VOC排出を抑制できる。
(日経産業10/12)
-
デュポンと太陽インキ製造は、新規半導体パッケージ材料を共同開発することで合意した。
(化工日10/13)
-
東京応化工業と日立製作所は、次世代の半導体リソグラフィーであるEUV(極紫外線)
技術に対応する低分子ポリフェノールタイプのフォトレジスト材料を開発した。
(日刊工業10/17)
-
ミヤカワは、金型不要のインクジェット方式+UV硬化方式の導光板製造装置を販売する。
(日経産業10/23)
-
凸版印刷は、第八世代(2.16×2.46メートル)のガラス基板に対応した液晶テレビ用カラーフィルタの生産を開始した。
(日刊工業10/24)
-
東レは、プラズマ・ディスプレー・パネル(PDP)用の感光性ペースト材料の生産能力を、年2700トンから5160トンに増強する。08年2月にフル稼働。
(日刊工業10/26)
-
ラドテック研究会創立20周年関連記事(西久保会長へのインタビュー)。
(化工日10/26)
-
東レは、繊維に紫外線やマイクロ波、電子線などの高エネルギーを与えて改質するナノレベル加工技術を開発した。第一弾として、長期間の撥水機能と深い色調表現を両立した繊維素材を07年春に発表する。
(日刊工業10/30)
UV/EB関連情報9月度’06
-
住友スリーエムは、UV硬化方式の産業用インクジェット(IJ)プリンターに使用するUVインクを販売する。ひび割れなどが起こりにくいのが特徴。
(化工日9/12)
-
電気化学工業は、電子部品の製造工程に使用する仮固定用UV硬化接着剤の販売を強化する。
(日刊工業9/25)
UV/EB関連情報8月度’06
-
アルプス電気は、光通信部材向け微細金型を開発した。光ナノインプリント技術を使用して、導線幅10マイクロメータの導線を射出成型できる。
(日経産業8/11)
-
大日本印刷は、インクジェット方式による第八世代の大型液晶パネルに対応したカラーフィルタの量産を9月から開始する。客先はシャープ。現行方式より、合計で2割程度のコストダウンが可能とのこと。
(日経産業8/30)
UV/EB関連情報7月度’06
-
ニコンは、回路線幅45ナノメートル以下の半導体量産に対応した液浸ステッパー「NSR−S610C」を発売する。NA1.30の投影レンズ搭載。
(日刊工業7/7)
-
JSRは、次世代ArF液浸プロセスにおいて、解像度向上に必須の液浸液では屈折率1.8以上の第三世代品を開発中。
(化工日7/12)
-
石川島播磨工業(IHI)とフジクラは、日本原子力研究開発機構(TAEA)の協力を得て、耐放射線性ポリエーテルエーテルケトン電線を共同開発した。
(化工日7/13)
-
トッパンフォームズは、エコマーク認定に対応した脱墨性を高めたUV硬化型インクをティーアンドケイ東華と共同開発した。第一弾として、情報隠蔽はがきの印刷に採用する。
(日刊工業7/20)
-
太陽インキ製造は、プリント基板用材料の通常は緑色のレジストインキで、従来よりも光の反射率が高く、長時間使用しても変色しにくい白色の製品を開発した。LEDの明るさを2割程度高める効果がある。
(日経産業6/21)
UV/EB関連情報6月度’06
-
セイコーエプソンは、インクジェット技術を使って、低温ポリシリコンTFTの銀配線を形成する技術を開発した。フォトリソグラフィー技術を代替する。
(日経産業6/21)
-
ミヤカワは、液晶画面のバックライトの光を均一に反射する導光板の新規生産技術を開発した。紫外線硬化樹脂でレンズを形成する。
(日経産業6/22)
-
超先端電子技術開発機構(ASET)は、感度10〜30mJ/cm2で28〜32ナノメートルの解像度を有するEUVプロセス向け化学増幅型レジストを複数確認した。今年度は、実用レベルのL/S30ナノメートル、LER3.0ナノメートル、感度5mJ/cm2を目指す。
(化工日6/28)
-
NTTは、立方体基板の各面にフォトレジストを均一に塗布する技術を開発した。レジスト溶液を超音波で霧状にするもの。
(日刊工業6/28)
UV/EB関連情報5月度’06
-
東レ・ダウコーニングは、フィルム用UV硬化型傷つき防止・防汚シリコーンコーティング剤を開発した。タッチパネル、フラットパネルディスプレーの表面保護がターゲット。
(化工日5/1)
-
武蔵塗料と香川ケミカルは、プラスチック製筐体の表面保護用の水性塗料を開発した。武蔵塗料は携帯電話用UV塗料の国内最大手。
(化工日5/2)
-
東京農工大の渡辺敏行教授らは、光を照射すると曲がったり、元に戻ったりする新材料を開発した。新材料は、アゾベンゼンとポリイミドが結合したもの。
(日経産業5/9)
-
「IT産業の技術革新を支えるUV・EB硬化技術」
西久保ラドテック研究会会長・神奈川大学副学長
(化工日5/10)
-
世界半導体市場統計(WSTS)が発表した半導体市場予測によると、06−08年は市場成長が継続し、3年間の平均成長率は11.3%、市場規模は08年に3135億$になる見込み。
(日刊工業5/31)
UV/EB関連情報4月度’06
-
荒川化学工業は、光硬化型の樹脂を液晶パネルの表面硬化剤に応用する技術を確立した。希釈剤として水を使用する。
(日経産業4/3)
-
関西ペイントは、基板に回路パターンを形成できる「スクリーン印刷法」用の無機質配合の樹脂剤を開発した。
(日経産業4/5)
-
日立化成は、感光性フィルムの新工場を中国蘇州に新設する。稼働開始は07年2月、生産能力は5千万平方メートル/年。
(日刊工業4/7)
-
昭和電工は、光硬化性樹脂の硬度や密着性をともに20%程度高める添加剤を開発した。
(日経産業4/12)
-
アトミクスは、UV硬化タイプの無機‐有機ハイブリッド樹脂の開発に成功した。
(化工日4/28)
UV/EB関連情報3月度’06
-
セイコーエプソンは、住友化学と共同で有機ELを光源とするプリントヘッドを開発した。一層均一な画像形成が可能。
(化工日3/15)
-
大日本インキ化学工業は、光ディスク表面保護材で世界シェア6割確保を目指す。オランダでの生産量を1.7倍の2500トン/年に増強する。
(日経産業3/15)
-
大阪有機化学工業は、ArFエキシマレーザ対応のLSIレジスト用モノマの本格供給を開始した。2010年に年商15億円、50%シェアを目標。
(化工日3/16)
-
セマテックは、半導体の次世代リソグラフィープロセスで、線幅45ナノメートルまでをArF液浸、それ以降をEUV露光でカバーする方針を固めた。
(化工日3/29)
UV/EB関連情報2月度’06
-
住友電工ファインポリマーは、電子線架橋熱収縮チューブの新工場を中国蘇州に建設する。生産開始は2007年2月。
(日経産業2/2)
-
AZエレクトロニックマテリアルズは、静岡工場の液晶パネル製造用レジスト供給能力を従来比2倍に拡充する。世界シェア約65%を維持。
(化工日2/8)
-
日本合成化学は、粘着剤事業を強化。新アクリル系UV粘着剤を開発、市場に投入する。
(化工日2/8)
-
JSRとIBMは、世界で初めて線幅30ナノメートル以下の半導体回路パターン形成に成功した。JSRが開発したフォトレジストとIBM製ArF対応液浸ステッパーを使用した。
(日経産業1/13)
UV/EB関連情報1月度’06
-
荒川化学工業は、大阪市立工業研究所と共同で光硬化型の有機-無機ハイブリッド材料を開発した。エン・チオール反応を利用したもの。
(日経産業1/1)
-
東京応化工業は、ArFに対応したフォトレジストの生産能力を拡大する。KrF対応と合わせ、郡山工場の生産能力を1.5倍に引き上げる。
(日経産業1/13)
-
日立化成工業は、中国広東省の感光性フィルムの新工場を稼働させた。生産能力は年1億平方米に倍増。
(日経産業1/17)
-
大日本スクリーン製造は、産業用のインクジェットプリンター事業を本格化させる。2005年に買収した英インカ・デジタルプリンターズのUV硬化インクや大型ヘッドの制御技術を活用。
(日経産業1/27)
UV/EB関連情報12月度’05
-
松下電器産業は、50ギガ容量データの保存を実現した二層BD−ROMディスクの低コスト量産技術を確立した。既存のDVD並みのコストで二層品を供給できる。
(化工日12/6)
-
ウシオ電機グループでは、回路線幅32ナノメートル以下の半導体製造に用いるEUV光源の研究・開発用途用装置の外販を行う。
(日経産業12/6)
-
伯東は、半導体プロセス研究所が開発したUV照射と熱処理を複合化した枚葉プロセス装置「アニール装置SPX−1120」の販売を始めた。価格は約1億円。
(日刊工業12/6)
-
中小型液晶パネル(10インチ未満)の世界シェア:シャープ23.2%、東芝松下ディスプレーテクノロジー15.0%、三洋エプソンイメージングデバイス12.0%、韓国サムスン電子9.0%、日立ディスプレイズ6.6%、その他34.2%。
(日経産業12/8)
-
日立電線は、エルピーダメモリと共同で、DDR2メモリーを2段に積層したBGA(ボールグリッドアレイ)パッケージを開発し、量産を始めた。
(日刊工業12/9)
-
日本AEパワーシステムは、電子線を複雑形状物に照射する技術を開発した。発生させた電子線を磁石で曲げるもの。
(日刊工業12/13)
-
マテリアルサイエンスは、独自のパルス型UV放射システムの開発拠点を新設した(茅野市)。3,10、100パルスのUV照射システムの3系列の実機を装備し、各種のデモが行える。パルスUV照射システムは、DVDの張り合わせでは世界的にスタンダード化しつつある。
(化工日12/15)
- 東南インキは、差別化製品のUV硬化金属インキに力を注ぎ、内外にOEM供給する新工場を完成させた。能力は20t/月。
(日刊工業12/19)
-
日立化成工業では、中国蘇州で建設を進めていた半導体封止材工場が竣工した。年産能力6000トン。
(化工日12/27)
UV/EB関連情報11月度’05
-
富士フィルムグラフィックシステムズは、ドイツのUV照射システムメーカーのホンレ社、及び同社のUV照射システムのオフセット印刷分野への供給社であるグラフィック社と日本国内の独占販売契約を締結した。
(日刊工業11/2)
-
富士薬品工業は、UV硬化インキ用に新開発したエッチ液の販売を開始した。インキの過乳化を抑制できるのが特徴。
(化工日11/4)
-
三菱重工業は、表層にUV照射するだけで、UVが届かない深部にまで硬化が進む連鎖硬化ポリマ(CCP)を開発した。主成分はエポキシ樹脂。
(化工日11/4)
-
東京工業大学の中川助教授らは、高分子膜に金ナノ粒子を透過させてパターニングする技術を開発した。
(化工日11/8)
-
荒川化学工業は、大阪市立工業試験所と共同で、光硬化タイプの有機-無機ハイブリッド材料を開発した。1ミリメートル以上の厚膜に硬化できる。
(日刊工業11/9)
-
オリジンミキタイランドは、UVハードコートをタイで現地生産する。06年早々に予定。
(化工日11/10)
-
松下電工マシンアンドビジョンは、デジタル機器のレンズ取り付けなどに使うUV硬化装置「Aicure」の新製品を発売した。
(日経産業11/10)
-
東京応化工業は、次世代半導体プロセスである液浸リソグラフィー向けカバーコートレス型レジストのサンプル出荷を開始した。
(化工日11/22)
-
大日本スクリーン製造は、液浸露光技術に対応したレジスト塗布・現像装置「RF3i」を06年早々に販売する。
(日経産業11/25)
-
日本記録メディア工業会は、記録型DVDの全世界需要量は、追記型を中心に急成長、06年には05年比41%増の55億4千百万枚まで拡大すると予測。
(化工日11/28)